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受疫情和全球供應鏈緊張的拖累,以及新能源領域需求快速增長的影響,2020年忽然席卷全球的缺”芯“潮,讓制造業(yè)吃盡了苦頭,不少企業(yè)不得不因此被動減產,甚至停產。在此背景下,半導體行業(yè)迎來了一輪暴發(fā)式增長。據統(tǒng)計,近2年全球僅新建和擴建的半導體晶原生產廠就多達50多座,投資超過2000億美元,其中中國的半導體行業(yè)發(fā)展迅猛,預計2024年,國內半導體產能將占到全球20%的份額。
在這一波半導體產業(yè)擴張浪潮中,半導體相關設備制造商們獲得了前所未有的發(fā)展良機,但也面臨著更高的要求和挑戰(zhàn)。由于半導體制造工藝精密復雜,為保證半導體制造設備的安全性和穩(wěn)定性,國際半導體設備材料產業(yè)協(xié)會(SEIM)作為全球半導體產業(yè)的引領者,在半導體制程設備及裝置安全方面發(fā)布了一系列標準,SEMI F47標準就是其中之一。
SEMI F47-0706(0706為版本號)是SEMI委員會專門針對半導體制造供電系統(tǒng)電壓瞬降的標準,以防止電網電壓瞬降導致的設備意外停機給半導體生產造成重大影響和損失,其具體要求如下:
用圖形化方式表達如下:
在半導體生產制造過程中,變頻器作為工業(yè)控制的關鍵設備,得到了大量廣泛應用。丹佛斯傳動一直致力于為廣大用戶提供最安全、最可靠、最高效的產品和服務,在其FC101,FC360,FC361 等系列變頻器中,專門集成了針對電網電壓瞬降的借能運行功能,能夠無需外部干預,在電網電壓瞬降時適當降低轉速,維持設備連續(xù)運行不跳閘。
上述系列丹佛斯變頻器已經經過美國電源標準實驗室(Power Standards Lab,簡稱PSL)的權威測試,于2022年順利通過了 SEMI F47-0706 的標準認證,滿足半導體行業(yè)設備的要求。對于其他也需要抗電壓瞬降保證設備連續(xù)運行的行業(yè),如光伏、玻璃、冶金等行業(yè),滿足SEMI F47 標準的變頻器也將成為維護生產穩(wěn)定運行的可靠保障。
丹佛斯變頻器借能運行功能簡介
設置變頻器參數 P14-10 為 [4] 借能運行。
當電源電壓瞬降時,變頻器自動降速,令負載處于發(fā)電機運行模式,將機械能轉化為電能,能夠維持住變頻器內部直流電壓,使變頻器短時間內不跳閘;待電源電壓恢復正常以后,變頻器自動恢復正常速度運行。